探針式輪廓儀/臺(tái)階儀
一款高精度表面形貌測量儀器,通過接觸式探針技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)垂直分辨率的臺(tái)階高度、粗糙度和三維形貌分析,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及材料科學(xué)研究領(lǐng)域。
布魯克針Dektak XTL探針式輪廓儀對(duì)300mm尺寸樣品進(jìn)行優(yōu)化,用于質(zhì)量保證/質(zhì)量分析的探針式輪廓儀