半導體解決方案

InSight AFP全自動原子力量測方案
  • 產品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產品產地: 美國
  • 應用領域: 半導體制造、 材料研究、 微納加工
  • 產品簡介: 布魯克 InSight AFP 是先進的全自動原子力量測方案。融合現(xiàn)代尖端掃描儀、穩(wěn)定電容式壓力計與精準空氣軸承定位系統(tǒng)，能在晶圓活動區(qū)無損測量。具備高分辨率、快速成型及 3D 模具映射能力，提供 NIST 可追蹤參考計量，年測量穩(wěn)定性出色。擁有 TrueSense? 技術與專有 CDMode，實現(xiàn)蝕刻深度等自動化監(jiān)控與側壁特征表征 。

先進制程控制和開發(fā)所追求的長期穩(wěn)定性和生產率，InSight AFP是行業(yè)領先的超高性能CMP分析和蝕刻深度量測系統(tǒng)，主要用于先進技術節(jié)點。InSight AFP配備了穩(wěn)定的電容式掃描頭和精確的空氣軸承定位系統(tǒng)，使其可以在芯片的任意有效區(qū)域輕松進行非破壞性測量。


  • 卓越的分辨率與成型速度：屬于第五代AFP，具備業(yè)界頂尖的分辨率以及快速的成型速度
  • 高度穩(wěn)定性：擁有0.3納米的長期穩(wěn)定性，可提供NIST可溯源的參考計量
  • 高效生產能力：在聯(lián)應用程序方面具有極高的生產效率
  • 快速仿形與高分辨率3D特征呈現(xiàn)：TrueSense®技術賦予其原子力分析器經實踐驗證的長掃描能力
  • 獨特的測量模式與成本優(yōu)勢：結合了原子力顯微鏡的創(chuàng)新成果，包含Bruker專有的CDMode