半導(dǎo)體解決方案

InSight WLI白光干涉量測(cè)方案
  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國(guó)
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 常用于半導(dǎo)體制造，監(jiān)測(cè)晶圓表面形貌、測(cè)量光刻膠厚度；在光學(xué)元件制造中，檢測(cè)表面粗糙度與面形偏差；助力材料科學(xué)研究，探究材料微觀結(jié)構(gòu)與性能關(guān)聯(lián)；也適用于精密機(jī)械加工領(lǐng)域，把控零件表面形貌與尺寸精度 。
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 該方案集成布魯克先進(jìn)技術(shù)，通過(guò)白光干涉原理實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。具備一鍵式高級(jí)尋找表面功能，搭配自動(dòng)聚焦與自動(dòng)照明，大幅提升測(cè)量效率?？蓪?duì)各類樣品表面進(jìn)行非接觸式檢測(cè)，獲取精確的三維形貌數(shù)據(jù)，垂直分辨率達(dá)亞納米級(jí)別，能兼顧微觀表面粗糙度與宏觀幾何尺寸測(cè)量 。

全自動(dòng)的 InSight WLI 系統(tǒng)結(jié)合了卓越的光學(xué)表面測(cè)量功能與先進(jìn)的晶圓處理系統(tǒng)，為用戶提供前所未有的測(cè)量體驗(yàn)。該系統(tǒng)專為滿足最為嚴(yán)苛的研發(fā)（R&D）、質(zhì)量保證及工藝質(zhì)量控制的需求而設(shè)計(jì)，搭載了專利性的探頭傾斜設(shè)計(jì)（tip/tilt head）、獨(dú)特的自校準(zhǔn)激光參考（ self-calibrating laser reference）、集成圖案識(shí)別功能（pattern recognition）以及其他眾多布魯克獨(dú)有的干涉測(cè)量技術(shù)。相比于其他量測(cè)系統(tǒng)， InSight WLI在非接觸精度、高通量能力和操作便捷性方面遙遙領(lǐng)先，它能夠廣泛應(yīng)用于各種在線生產(chǎn)量測(cè)和成像任務(wù)中。

  • 高分辨率與高精度：擁有光學(xué)形貌技術(shù)中頂尖的 Z 向分辨率，達(dá)到亞納米級(jí)別，獨(dú)特的計(jì)量傳感器設(shè)計(jì)，采用專利雙 LED 光源
  • 強(qiáng)大的自動(dòng)化功能：具備完全自動(dòng)化的測(cè)量能力，擁有靈活的測(cè)量配方設(shè)置功能
  • 廣泛的適用性：可適用于多種類型的樣品表面分析，可在苛刻的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，保障測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。