光刻測(cè)試
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EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測(cè)量和鍵合對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具
光刻測(cè)試
EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測(cè)量和鍵合對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具