探針式輪廓儀

Dektak Pro探針式輪廓儀
一款高精度表面形貌測量儀器，通過接觸式探針技術(shù)實現(xiàn)納米級垂直分辨率的臺階高度、粗糙度和三維形貌分析，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及材料科學(xué)研究領(lǐng)域。
  • 產(chǎn)品品牌: Bruker公司
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 馬來西亞
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體與微電子、光學(xué)與顯示技術(shù)、材料科學(xué)、MEMS/NEMS（微/納機電系統(tǒng)）、生物醫(yī)學(xué)與仿生材料、質(zhì)量控制與失效分析
  • 產(chǎn)品簡介: Dektak Pro采用接觸式探針測量技術(shù)，通過金剛石或藍寶石探針在樣品表面掃描，記錄探針的垂直位移變化，從而生成高分辨率的表面輪廓數(shù)據(jù)（分辨率可達亞納米級）。




最大限度地提高可重復(fù)性和準(zhǔn)確性

Dektak Pro 提供準(zhǔn)確、精確的數(shù)據(jù)，具有最高的分辨率、最低的本底噪聲和任何市售測針輪廓儀中最容易的尖端更換。最先進的測量和分析技術(shù)最大限度地提高了可重復(fù)性和準(zhǔn)確性，使單納米臺階高度測量和優(yōu)于 4 ? 的可重復(fù)性成為可能。

提高吞吐量

Dektak Pro 加速了測量和分析過程的每一步。直接驅(qū)動掃描臺技術(shù)縮短了掃描之間的時間，Vision64 軟件中的 64 位并行處理實現(xiàn)了快速數(shù)據(jù)處理。®

Dektak Pro 中額外的速度和易用性技術(shù)進步：

  • 一種新算法使光學(xué)實時圖像中幾乎整個視場都聚焦在一起，從而更容易定位感興趣的特征。
  • 新的臺階高度算法可自動執(zhí)行分析程序，提高一致性，并最大限度地減少臺階高度計算中的潛在用戶錯誤。



提供終極多功能性和易用性

適用于各種應(yīng)用



Dektak Pro 解決了許多工業(yè)和研究應(yīng)用中的研發(fā)、工藝開發(fā)和 QA/QC 當(dāng)前和未來的需求，例如：

  • 微電子學(xué)
  • 厚膜涂層
  • 生物材料


在動態(tài)測量場景中準(zhǔn)確且響應(yīng)迅速

使用 Dektak Pro，一個測量頭可覆蓋 5 nm–1 mm 的步高和 0.03–15 mg 的負載（使用 N-Lite+ 選項），無需重新校準(zhǔn)。低慣量傳感器 （LIS 3） 可快速適應(yīng)表面地形的突然變化，并在動態(tài)測量場景中保持準(zhǔn)確性和響應(yīng)能力



快速簡便的觸控筆更換

Dektak Pro 獨特的自對準(zhǔn)測針組件有助于快速輕松地更換測針，同時消除過程中的任何潛在事故。布魯克提供最廣泛的測針尺寸，幾乎可以滿足任何應(yīng)用要求。


Dektak Pro 具有最快、最簡單的吸頭更換功能，使吸頭切換變得簡單，以滿足最廣泛的應(yīng)用需求。




選擇最適合您的應(yīng)用程序和預(yù)算的配置

Dektak Pro 有幾種標(biāo)準(zhǔn)配置，具有不同的載物臺尺寸 — 高達 200 mm 的晶圓全樣品通道 — 以及自動化載物臺選項，以滿足您的獨特需求和預(yù)算。


  • Dektak Pro E 或 -S： 手動 100 mm XY 載物臺，帶或不帶手動 θ 旋轉(zhuǎn)
  • Dektak Pro A： 自動 150 mm XY 載物臺，帶自動 360° θ
  • Dektak Pro A200 （德克特 Pro A200）： 自動編碼的 200 mm XY 載物臺，帶有精細編碼的自動 360° θ